半导体和特气

符合超高纯度标准

电子特气(Electronics Specialty Gases)被称为半导体工业的血液,在光刻、刻蚀、沉积、掺杂、清洗等半导体制造的核心工艺环节中广泛应用。为了保证产品的性能和可靠性,半导体行业对电子特气的纯度有很高的要求,通常在 5N(99.999%)以上,因此要求流体系统中使用的管阀件具有很高的清洁度。如果清洁度不达标,可能导致产品的质量缺陷,甚至扩散污染整条产品线,造成产品全部报废的严重后果。此外,由于很多电子特气具有有毒、有害或易燃易爆的特性,管阀件的密封性能也至关重要。

 

飞托克向全球知名的半导体行业客户提供管阀件及其集成系统产品,积累了丰富的产品知识及应用经验,为客户安全、可靠、高效的生产提供保障,深受广大客户的信赖。

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为什么选择飞托克半导体和特气应用产品?

  • 产品线丰富

    完整的产品线,覆盖接头、阀门、减压阀、过滤器、钢管、以及集成系统(比如源瓶组件、气体控制组件、模块化气体系统 IGS)等,适配各类制程需求。

  • 严选材料

    主体材料采用符合相关 SEMI 标准的 316L、316L 真空电弧重熔 (VAR) 不锈钢,严格控制材料的化学成分、晶粒度等,确保材料满足高纯(HP)、超高纯(UHP)等级的使用场景。

  • 表面处理

    产品内表面采用电解抛光处理,以提高流道的平滑性,并在金属表面形成富铬层以提高耐腐蚀性,电解抛光后的产品做钝化处理以去除游离铁离子。

  • 高纯清洗

    产品在通过美国国家环境平衡局 (NEBB)认证的洁净室内,使用符合 SEMI E49.6 的去离子水(DI Water)进行超声波震洗并烘干,确保无残留沉积物。

  • 高等级洁净室

    拥有通过 NEBB 认证的多个等级洁净室。超高纯(UHP)等级产品的关键工序在10级洁净室内完成,清洁度符合相关的 SEMI 标准。

  • 氦检漏测试

    所有高纯(HP)和超高纯(UHP)等级阀门出厂前都按照 SEMI-F1 标准进行氦气外漏和内漏测试。我们使用的氦检漏仪检测能力可达 5×10-12 std. cm3/s。

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