表面安装隔膜阀,DI 和DIH 系列

表面式安装方式

DI 和 DIH 系列表面安装隔膜阀采用符合 SEMI 标准的表面安装方式,阀门和基块之间采用 W 或 C 形金属硬密封,可安装于模块化气体系统中。最大工作压力 10 bar (145 psig),钴合金隔膜提高强度和耐腐蚀性,无填料隔膜密封确保高纯,流道无死区结构设计,易吹扫,润湿部位经过 EP 处理,表面粗糙度不超过 Ra 0.13 μm (5 μin.)

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