VGC 系列真空发生器将文丘里管、气动阀和单向阀集成于一体，结构紧凑，用于产生真空和吹扫管道系统，广泛应用于半导体行业。气动阀门控制文丘里管的氮气供给，单向阀防止逆流至氮气进口。可选配常泄孔，可以持续通入惰性气体，保持排气管路充满惰性气体。最大真空度可达 -8 8kPa（-26 in.Hg），工作温度范围为 -10℃ 至 71℃（14℉ 至 160℉）。出厂前经过去离子水配合超声波清洁，确保高纯度。
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