气体控制系统

实现对气路的切换和控制

CEPR、DPPR、FDR、FPR 和 FSR 系列是高性能气体控制与切换系统的代表,适用于多种工业和实验室环境。CEPR 和 DPPR 系列实现气路的自动切换,维持气体供应的连续性。FDR 系列切换系统提供灵活的手动和自动切换选项。FPR 系列控制点面板和 FSR 系列压力控制面板则负责精确调节气体压力,确保安全稳定的气体供给。AGH 和 AGL 系列分别为高纯和常规气体控制组件,AGH 系列适合半导体等高纯度气体应用,AGL 系列则多用于一般工业场合。CSR 系列源瓶组件能适应绝大部分前驱体封装存储。各系列产品采用模块化集成设计,适应不同应用需求。

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